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MDPinline 晶圆片在线面扫检测仪MDPinline是一种用于快速定量测量载流子寿命并集成扫描功能的检测仪。通过工厂安装的传送带将晶圆片移至仪器,在不到一秒的时间内,就可以“动态”测量出晶圆图。该仪器本身不使用机械运动部件,因此在连续操作下也非常可靠。它为每个晶圆片提供完整的拓扑结构,这为提高生产线的成本效益和效率提供了新的途径。例如,在不到3个小时的时间内,对10000个晶圆片的拓扑结构进行自动统计评 -
MDPpro 晶圆片/晶锭寿命检测仪根据SEMI标准PV9-1110的非接触式和无损成像(μPCD/MDP(QSS))、光电导性、电阻率和p/n检查。晶圆切割,炉内监控,材料优化等。日常寿命测量,质量控制和检验产量:>240块/天或>720片/天测量速度:对于156x156x400mm标准晶锭,<4分钟良品率提升:1mm切割标准为156x156x400mm标准晶锭质量控制:用于过程和材料的质量监控,如单晶 -
MDPlinescan 在线晶圆片/晶锭点扫或面扫检测仪在线面扫和单点检测MDPlinescan是一个易于集成的OEM单元,可集成到各种自动化的检测线。关键的测量参数是实时的载流子寿命扫描。样品通常由测量头下的传送带或机器人系统来输送。应用实例从晶锭到晶圆的检测,每个晶圆的测量速度小于一秒。电池生产线上的来料质量检查是最常用的一种应用方向,同样,钝化和扩散后的工艺质量检查也能用到此款产品。还有许多其他的专门应用可能性。由于其易于集成,只需要以太网连
