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MDPlinescan 在线晶圆片/晶锭点扫或面扫检测仪
在线面扫和单点检测MDPlinescan是一个易于集成的OEM单元,可集成到各种自动化的检测线。关键的测量参数是实时的载流子寿命扫描。样品通常由测量头下的传送带或机器人系统来输送。应用实例从晶锭到晶圆的检测,每个晶圆的测量速度小于一秒。电池生产线上的来料质量检查是最常用的一种应用方向,同样,钝化和扩散后的工艺质量检查也能用到此款产品。还有许多其他的专门应用可能性。由于其易于集成,只需要以太网连
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