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MDPlinescan 在线晶圆片/晶锭点扫或面扫检测仪


在线面扫和单点检测

MDPlinescan是一个易于集成的OEM单元,可集成到各种自动化的检测线。关键的测量参数是实时的载流子寿命扫描。
样品通常由测量头下的传送带或机器人系统来输送。应用实例从晶锭到晶圆的检测,每个晶圆的测量速度小于一秒。
电池生产线上的来料质量检查是最常用的一种应用方向,同样,钝化和扩散后的工艺质量检查也能用到此款产品。
还有许多其他的专门应用可能性。由于其易于集成,只需要以太网连接和电源。                                                              
  

特性

允许单片调查
配方的基础测量
监控材料质量、工艺的完整性和稳定性

优势
在µ-PCD或稳态激发条件下测量少数载流子寿命和电阻率是这个工具的重点。
用于集成在生产线的多晶或单晶硅晶圆,包括材料制备,和各种工艺处理阶段。
小尺寸和标准的自动化接口使集成变得容易。优势是长时间的可靠性和测量结果的高精度。
                   

                     


技术参数

样品种类多晶或单晶晶元片, 晶锭,晶胞
样品尺寸大约50 x 50 mm²
电阻率0.2 - 10³ Ohm cm
电导类型p, n
材质硅晶圆,部分或完全加工晶圆,化合物半导体等
测量属性载流子的少子寿命
硬件接口ethernet
大小174 x 107 x 205 mm, 重量: 3 kg
电源24 V DC, 2 A