特征

电阻率的非接触式测量和成像
高频涡流传感原理与集成红外温度传感器可校正样品的温度变化
信号灵敏度
基于线圈频率读数（正在申请专利）的高信号灵敏度，可实现准确可靠的电阻率测量，并具有高再现性和可重复性
测量时间
测量时间 < 3 s，测量之间时间 < 1 s
测量速度
200 mm 晶圆/晶锭 < 30 s，9个点
多点测量及测绘显示
最高9999个点
材料外形尺寸
平坦或略微弯曲的晶圆、晶锭、锭板、毛坯和薄膜
X-Y位置分辨率
≥ 0.1mm
边缘扣除 
5 mm
可靠性
模块化、紧凑的台式仪器设计，可靠性高，正常运行时间 > 99%
电阻率测量的重复性
≤ 0.15%，基于使用ANOVA Gage R&R方法对材料系统分析（MSA）

用户友好且先进的操作软件
+电阻率测量配方                                                  +分析功能包；统计、方差分析、温度校正函数和库
+导出/导入功能和原始数据访问                           +远程访问；基于互联网的系统允许在世界任何地
+多级用户账户管理方进行远程操作和技术支持   +所有执行的测量概览
+绘图选项（线、十字、星、完整地图、地形、用户定义图案）

更多技术规格和配置选项

为自动化流程做准备	可用于不同的平台
测量方法符合	SEMI MF673标准
数据及数据有效性检查	使用NIST标准
校准精度	±1%
集成红外温度传感器（±0.1°）	允许报告标准温度下的电阻率，（与样品的实际温度不同）
样品厚度校准	对于高频信号穿透深度大于穿透深度的样品
电力要求	100-250 VAC, 5 A
尺寸	465 ´550 ´600 mm
软件控制	配备Window10或最新版本的标准PC，2个以太网端口