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少数载流子寿命测试仪测定硅片中的铁浓度

铁含量的准确测定是非常重要的,因为铁是硅中含量最丰富也是最有害的缺陷之一。因此,有必要尽可能准确和快速地测量铁浓度,并具有非常高的分辨率,最好是在线测量。

使用德国Freiberg MDPingot和MDPmap系列,可以全自动测量晶锭和晶片中的铁浓度,并具有非常高的分辨率。

铁硼对解离前后的寿命测量是硅片铁含量测定中广泛应用的方法。

在高掺杂浓度的硼掺杂硅中,当它用于光伏应用时,几乎100%的电活性铁以FeB对的形式存在。在有足够能量的光的情况下,这些电子对可以在Fei和b中解离。这个过程是可逆的,一段时间后所有的FeB电子对都重新结合。FeB和Fei有不同的复合性能,因此解离对寿命有影响。在这种效果下,铁的浓度可以通过以下方法确定:



铁的测定使用校准因子C,它取决于注入、掺杂浓度和陷阱浓度,特别是在多晶硅中必须考虑到这一点。MDP可以测定mc-和mono-Si的铁浓度,具有较高的分辨率,也得益于模拟方法和多年的研究,使其具有较高的精度。



更多信息请参考:
[1] S. Rein and S. W. Glunz, Journal of Applied Physics 98 (2005).
[2] N.Schüler, T.Hahn, K. Dornich, J.R. Niklas, Solid State phenomena to be published


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