铁含量的准确测定是非常重要的，因为铁是硅中含量最丰富也是最有害的缺陷之一。因此，有必要尽可能准确和快速地测量铁浓度，并具有非常高的分辨率，最好是在线测量。

使用德国Freiberg MDPingot和MDPmap系列，可以全自动测量晶锭和晶片中的铁浓度，并具有高分辨率。

铁硼对解离前后的寿命测量是硅片铁含量测定中广泛应用的方法。

在高掺杂浓度的硼掺杂硅中，当它用于光伏应用时，几乎100%的电活性铁以FeB对的形式存在。在有足够能量的光的情况下，这些电子对可以在Fei和b中解离。这个过程是可逆的，一段时间后所有的FeB电子对都重新结合。FeB和Fei有不同的复合性能，因此解离对寿命有影响。在这种效果下，铁的浓度可以通过以下方法确定:

铁的测定使用校准因子C，它取决于注入、掺杂浓度和陷阱浓度，特别是在多晶硅中必须考虑到这一点。MDP可以测定mc-和mono-Si的铁浓度，具有较高的分辨率，也得益于模拟方法和多年的研究，使其具有较高的精度。