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MDPspot 单点寿命检测仪


桌面单点测量

 低成本的台式少子寿命测量系统,对不同制备阶段的硅材料电学参数进行表征。
没有内置自动化。可选配手动z轴,用于厚度在156毫米以下的晶锭。
 MDPspot可配电阻率测试选项。仅适用于硅,用于晶圆片,也可用于晶锭。 
 
结果可视化的标准软件。 





特性

  • 无接触和非破坏的电学参数测试
    对外延工艺监控和不可见缺陷检测,具有可视化测试的最高分辨率
    对于不同级别晶圆片,提供不同的菜单选项


优势

用于不同制备阶段,从成体到最终器件,多晶硅或单晶硅单点测量载流子寿命的台式装置。
体积小,成本低,使用方便。拥有一个基本的软件,结果可视化。
适用于晶圆片到晶锭,易于高度调整。

  •              Exemplary linescans 

技术参数
样品不同工艺处理样品,如钝化或扩散后的单晶或多晶硅晶圆、晶锭、电池等
样品尺寸50 x 50 mm² 到12“ 或210 x 210 mm²
电阻率0.2 - 10³ Ohm cm
材质硅晶圆,晶锭,部分或全部加工晶圆,化合物半导体和其它类型 
少子寿命检测范围20ns到几十ms
尺寸360 x 360 x 520 mm,质量:16 kg
电源110/220 V, 50/60 Hz, 3 A


其它细节

允许单片调查
不同种类晶圆片有不同的菜单
监控材料、工艺质量和稳定性