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MDPinline ingot 晶锭在线面扫检测仪

MDPinline ingot系统是世界上最快的多晶硅晶锭电学参数特性测量工具。它是专为高通量工厂的单块晶锭测试而研发的。每块晶锭可以在不到一分钟时间里测量其四面。所有的图谱(寿命,光电导率,电阻率)都是同时测量的。 

       该系统包括一个数据库和统计数据评估,可用于自动确定精确的切割位置,以提高成品率。用于材料质量监控,炉选择和工艺改进。

性能

无接触破坏的半导体特性
少数载流子寿命的检测能力Automated determination of cut off criteria
先进的灵敏度让所有隐形缺陷可视化
自动切割标准定义
获取体材料性质的稳态测量
完全自动化的内联集成
对太阳能级硅錠进行扫描,1mm分辨率
测量时间:1分钟内完成晶锭的面扫描,可自动测量所有4个面

优势

  • 先进光伏晶圆厂多晶硅晶锭在线特性快速检测的世界记录。
  • 在1分钟内完成分辨率大于1mm成像扫描测试,同时可完成电导类型转变的空间分布扫描和电阻率的
  • 线扫描测试。客户定义的切割标准可以传输到晶圆厂数据库,该数据库允许对下一代光伏晶圆厂进行完全自动化的材料监控。
  • 对炉料进行质量控制和炉况监测,并进行失效分析。特殊的“underneath the surface”测量技术大大减少了表面重组造成的数据失真。


  • Recognition of cracks, chunks etc. Automated cut criteria definition, lifetime map 






  • 技术参数
    样品多晶硅晶锭
    样品尺寸125 x 125到 210 x 210 mm²
    硅錠最大长度600 mm
    电阻率0.2 - 10³ Ohm cm
    电导类型p, n
    材质多晶硅
    检测性能寿命(稳态或非平衡(μ-PCD)可选择的),光电导性
    激发光源980 nm (默认)
    测量时间取决于样品例如1mm分辨率 156 x 156 mm², 300 mm:不到2分钟
    尺寸2300 x 800 x 1200 mm, 重量:250 kg
    电源110/220V, 50/60 Hz, 8 A

    其它细节
    • 全自动化
    • 晶锭图和线扫描

  • 选项

    • 电阻率图 ,1 cm² 分辨率
    • p/n 等效图,1 mm² ­分辨率
    • 铁浓度分布图