MDPinline ingot 晶锭在线面扫检测仪
MDPinline ingot系统是一种多晶硅晶锭电学参数特性测量工具。它是专为高通量工厂的单块晶锭测试而研发的。每块晶锭可以在不到一分钟时间里测量其四面。所有的图谱(寿命，光电导率，电阻率)都是同时测量的。
该系统包括一个数据库和统计数据评估，可用于自动确定精确的切割位置，以提高成品率。用于材料质量监控，炉选择和工艺改进。
少数载流子寿命的检测能力
Automated determination of cut off criteria
先进的灵敏度让所有隐形缺陷可视化
自动切割标准定义
获取体材料性质的稳态测量
完全自动化的内联集成
对太阳能级硅錠进行扫描，1mm分辨率
测量时间:1分钟内完成晶锭的面扫描，可自动测量所有4个面
性能
无接触破坏的半导体特性少数载流子寿命的检测能力
Automated determination of cut off criteria 先进的灵敏度让所有隐形缺陷可视化
自动切割标准定义
获取体材料性质的稳态测量
完全自动化的内联集成
对太阳能级硅錠进行扫描，1mm分辨率
测量时间:1分钟内完成晶锭的面扫描，可自动测量所有4个面
优势
- 先进光伏晶圆厂多晶硅晶锭在线特性快速检测的世界记录。
- 在1分钟内完成分辨率大于1mm成像扫描测试，同时可完成电导类型转变的空间分布扫描和电阻率的
- 线扫描测试。客户定义的切割标准可以传输到晶圆厂数据库，该数据库允许对下一代光伏晶圆厂进行完全自动化的材料监控。
- 对炉料进行质量控制和炉况监测，并进行失效分析。特殊的“underneath the surface”测量技术大大减少了表面重组造成的数据失真。
Recognition of cracks, chunks etc. 
Automated cut criteria definition, lifetime map - 技术参数
样品 多晶硅晶锭 样品尺寸 125 x 125到 210 x 210 mm² 硅錠最大长度 600 mm 电阻率 0.2 - 10³ Ohm cm 电导类型 p, n 材质 多晶硅 检测性能 寿命(稳态或非平衡(μ-PCD)可选择的)，光电导性 激发光源 980 nm （默认） 测量时间取决于样品 例如1mm分辨率 156 x 156 mm², 300 mm：不到2分钟 尺寸 2300 x 800 x 1200 mm, 重量：250 kg 电源 110/220V, 50/60 Hz, 8 A
其它细节- 全自动化
- 晶锭图和线扫描
选项
- 电阻率图 ，1 cm² 分辨率
- p/n 等效图，1 mm² 分辨率
- 铁浓度分布图