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MDpicts pro-高分辨率变温少子寿命测试仪
MDpicts pro
高分辨率变温少子寿命测试仪

用于生产和研究实验室应用的MDpicts pro(高分辨率变温少子寿命测试仪系统)。全自动设备,以非接触、无破坏方式绘制材料的电输运特性。一般来说,MDpicts pro系统能够适用于各种不同材料和制备阶段的测量,范围从硅原料、裸晶圆到不同的制备阶段,再到HgCdTe、CZT、InSb、HgCdSe、CdTe、GaAs、InP等化合物半导体,可以研究电阻率高于0.3 Ωcm的单晶硅和多晶硅。重点是缺陷发射、少数载流子寿命以及光电导率的温度相关测量。研究污染物和电活性晶体缺陷。
材料:MDpicts pro 能够对几乎所有半导体进行电学表征
碲镉汞碳化硅 | 化合物半导体 | 氧化物 | 宽带隙材料 | 钙钛矿| 外延层
[ HgCdTe | SiC | InP | ZnS | CdTe | GaAs | GaN | Ge ]and more
 
核心优势:
从窄禁带材料到宽禁带材料的全覆盖测试
实现材料缺陷的根本原因分析:无损、灵活且精准
空间分辨率高
同时具备瞬态μPCD和稳态MDP测量
可定制激光与光学集成方案,适配各类材料需求
原位新型低温恒温测试系统,
支持最大4英寸样品测试

技术规格

变温范围83 ~ 350 K 
样品尺寸最大 4"晶圆片以及小晶圆片
电阻率> 0.3 Ohm cm
导电类型P型、N型
少子寿命范围20 ns – 100 ms
可检测性能寿命、光电导率、活化能等
激发355 – 1550 nm
注:产品所有信息可能会根据最新的研究和开发进行技术更改恕不另行通知。

应用案例:

光束诱导电流(LBIC)
该过程基于对太阳能电池中局部电流(Isc)的测量,该电流通过激光诱导的方式产生

微波探测光致电流瞬态谱(MD-PICTS)
为研究半导体中的缺陷,温度依赖型方法(类似深能级瞬态谱(DLTS))已被广泛应用。

磷化铟(InP)中缺陷能级的研究
微波探测光致电流瞬态谱(MD-PICTS)是研究磷化铟(InP)中缺陷能级的理想方法。例如,对磷化铟的研究表明,退火过程中材料的缺陷含量会发生变化……