MDpicts pro-高分辨率变温少子寿命测试仪
MDpicts pro高分辨率变温少子寿命测试仪
用于生产和研究实验室应用的MDpicts pro(高分辨率变温少子寿命测试仪系统)。全自动设备,以非接触、无破坏方式绘制材料的电输运特性。一般来说,MDpicts pro系统能够适用于各种不同材料和制备阶段的测量,范围从硅原料、裸晶圆到不同的制备阶段,再到HgCdTe、CZT、InSb、HgCdSe、CdTe、GaAs、InP等化合物半导体,可以研究电阻率高于0.3 Ωcm的单晶硅和多晶硅。重点是缺陷再发射、少数载流子寿命以及光电导率的温度相关测量。研究污染物和电活性晶体缺陷。
材料:MDpicts pro 能够对几乎所有半导体进行电学表征
碲镉汞|碳化硅 | 化合物半导体 | 氧化物 | 宽带隙材料 | 钙钛矿| 外延层
[ HgCdTe | SiC | InP | ZnS | CdTe | GaAs | GaN | Ge ]and more
核心优势:
从窄禁带材料到宽禁带材料的全覆盖测试
实现材料缺陷的根本原因分析:无损、灵活且精准
空间分辨率高
同时具备瞬态μPCD和稳态MDP测量
可定制激光与光学集成方案,适配各类材料需求
原位新型低温恒温测试系统,
支持最大4英寸样品测试
技术规格
| 变温范围 | 83 ~ 350 K |
| 样品尺寸 | 最大 4"晶圆片以及小晶圆片 |
| 电阻率 | > 0.3 Ohm cm |
| 导电类型 | P型、N型 |
| 少子寿命范围 | 20 ns – 100 ms |
| 可检测性能 | 寿命、光电导率、活化能等 |
| 激发 | 355 – 1550 nm |
| 注:本产品所有信息可能会根据最新的研究和开发进行技术更改,恕不另行通知。 | |
应用案例:
光束诱导电流(LBIC)
该过程基于对太阳能电池中局部电流(Isc)的测量,该电流通过激光诱导的方式产生
微波探测光致电流瞬态谱(MD-PICTS)
为研究半导体中的缺陷,温度依赖型方法(类似深能级瞬态谱(DLTS))已被广泛应用。
磷化铟(InP)中缺陷能级的研究
微波探测光致电流瞬态谱(MD-PICTS)是研究磷化铟(InP)中缺陷能级的理想方法。例如,对磷化铟的研究表明,退火过程中材料的缺陷含量会发生变化……
